[发明专利]模的制造方法和使用模的反射防止膜的制造方法有效
| 申请号： | 200980102799.2 | 申请日： | 2009-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN102027160A | 公开（公告）日： | 2011-04-20 |
| 发明（设计）人： | 伊原一郎 | 申请（专利权）人： | 夏普株式会社 |
| 主分类号： | C23F17/00 | 分类号： | C23F17/00;B29C59/02;C23F1/00;C25D11/04;G02B1/11 |
| 代理公司： | 北京市隆安律师事务所 11323 | 代理人： | 权鲜枝 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的蛾眼用模的制造方法包括：工序(a)：准备Al的含量为不到99.99质量％的Al基材；工序(b)，通过使Al基材部分地阳极氧化，形成具有多个微细凹部的多孔氧化铝层；工序(c)，在工序(b)之后，通过使多孔氧化铝层与含有阳极抑制剂的蚀刻液接触，使多孔氧化铝层的多个微细凹部扩大；以及工序(d)，在工序(c)之后通过进一步地阳极氧化使多个微细凹部生长。 | ||
| 搜索关键词： | 制造 方法 使用 反射 防止 | ||
【主权项】：
一种模的制造方法，用于在表面形成具有多个第1凸部的蛾眼构造，上述第1凸部从表面的法线方向看时的二维大小为10nm以上且不到500nm，上述模的制造方法包括如下工序：(a)准备Al的含量为不到99.99质量％的Al基材；(b)通过对上述Al基材部分地进行阳极氧化，形成具有多个微细凹部的多孔氧化铝层；(c)在上述工序(b)之后，通过使上述多孔氧化铝层与含有阳极抑制剂的蚀刻液接触，使上述多孔氧化铝层的上述多个微细凹部扩大；以及(d)在上述工序(c)之后，进一步进行阳极氧化，由此使上述多个微细凹部生长。
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