[实用新型]磁悬浮高速测量仪校准装置

摘要

本实用新型公开了一种能够方便准确地对现有高速运动测量装置进行校准测量的磁悬浮高速测量仪校准装置，包括一个上表面为光滑水平面的工作台，其上表面两侧各设有一支承，两支承之间水平设置有一永久磁钢推力杠，永久磁钢推力杠上套设有直线电机动子，直线电机动子下端设置有气浮轴承与工作台上表面形成非接触式支承；还包括一个钢带光栅测量系统，其中，钢带光栅读数头安装于直线电机动子下端面，钢带光栅安装于工作台上表面且位置与钢带光栅读数头相对应；还包括一个微机控制系统，该微机控制系统分别与钢带光栅测量系统和直线电机动子相连，可读取钢带光栅测量系统的测量结果并对直线电机动子的运动进行控制。

主权项

一种磁悬浮高速测量仪校准装置，其特征在于，包括一个上表面为光滑水平面的工作台，工作台上表面两侧各设置有一个支承，两支承之间水平设置有一永久磁钢推力杠，永久磁钢推力杠上采用磁悬浮的方式匹配地套设有一个直线电机动子，直线电机动子下端设置有气浮轴承与工作台上表面形成非接触式支承；还包括一个钢带光栅测量系统，其中，钢带光栅读数头向下安装于直线电机动子下端面侧边上，钢带光栅顺直线电机动子运动方向安装于工作台上表面且位置与钢带光栅读数头相对应；还包括一个微机控制系统，该微机控制系统分别与钢带光栅测量系统和直线电机动子相连，可读取钢带光栅测量系统的测量结果并对直线电机动子的运动进行控制。