[实用新型]磁悬浮高速测量仪校准装置

权利要求书

1.一种磁悬浮高速测量仪校准装置，其特征在于，包括一个上表面为光滑水平面的工作台，工作台上表面两侧各设置有一个支承，两支承之间水平设置有一永久磁钢推力杠，永久磁钢推力杠上采用磁悬浮的方式匹配地套设有一个直线电机动子，直线电机动子下端设置有气浮轴承与工作台上表面形成非接触式支承；还包括一个钢带光栅测量系统，其中，钢带光栅读数头向下安装于直线电机动子下端面侧边上，钢带光栅顺直线电机动子运动方向安装于工作台上表面且位置与钢带光栅读数头相对应；还包括一个微机控制系统，该微机控制系统分别与钢带光栅测量系统和直线电机动子相连，可读取钢带光栅测量系统的测量结果并对直线电机动子的运动进行控制。

2.如权利要求1所述的磁悬浮高速测量仪校准装置，其特征在于所述工作台上表面为天然花岗岩光滑平面。

3.如权利要求1所述的磁悬浮高速测量仪校准装置，其特征在于所述支承上部为固定轴套结构的弹性夹头，该弹性夹头与永久磁钢推力杠套接为一体；所述支承上还设置有一限位开关，所述直线电机动子的两端设置有匹配的限位挡块，其中限位开关具有一个向上的弧形面，限位挡块具有一个弹性斜面，并使得当直线电子动子处于两端极限位置时，所述弧形面能与所述弹性斜面直接接触以产生一个缓冲阻挡作用。

4.如权利要求1所述的磁悬浮高速测量仪校准装置，其特征在于所述气浮轴承下表具有一个水平设置的气垫面，该气垫面上均布有三个向下的节流小孔，气垫面内部具有一个与节流小孔相通的环形气腔，所述气浮轴承上表具有一个与环形气腔连通的气管，气管可通过软管与供气系统相连；同时所述气浮轴承可以是设置为呈三角形分布的三个。

5.如权利要求1至4中任一项所述的磁悬浮高速测量仪校准装置，其特征在于所述的直线电机动子上方设置有一向上凸起的小物件，该小物件上与两端支承相对的任一侧设置有一激光反射条。

6.如权利要求1至4中任一项所述的磁悬浮高速测量仪校准装置，其特征在于所述微机控制系统中，具有一个与直线电机相连的高速直线驱动系统，用于驱动直线电机运动；还具有一个与钢带光栅测量系统和直线电机相连的闭环控制系统，其具有位置环、速度环、电流环三环矢量控制能力，其中速度环的输出为电流环的给定信号，位置环的输出为速度环的给定信号，用于实现直线电机的实际位置测量和反馈控制；还具有一个与钢带光栅测量系统相连的高速数据采集系统，其采用铷原子钟作为标准时钟信号，用铷原子钟的标准时钟作为精密时间间隔发生器的输入时钟信号，产生位移测量的精确同步采样信号。