[实用新型]硅片喷淋清洗系统无效
| 申请号： | 200920282733.3 | 申请日： | 2009-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN201579228U | 公开（公告）日： | 2010-09-15 |
| 发明（设计）人： | 陆杰;陈豪;何广春 | 申请（专利权）人： | 无锡尚德太阳能电力有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08 |
| 代理公司： | 无锡市大为专利商标事务所 32104 | 代理人： | 曹祖良 |
| 地址： | 214028 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种硅片喷淋清洗系统，包括喷淋槽体，其具有进槽口与出槽口，所述喷淋槽体内设置有用于输送硅片的输送辊轮组，所述输送辊轮组的上方和下方分别设有用于喷射清洗硅片的多个上喷头和多个下喷头。由于本实用新型的清洗方式由浸泡式改为喷淋式，使硅片在喷淋槽内的受力情况简单化，减少了硅片在氢氟酸槽内受到液体浮力的影响，从而减少了硅片碎片情况发生。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 喷淋 清洗 系统 | ||
【主权项】：
一种硅片喷淋清洗系统，包括喷淋槽体，所述喷淋槽体具有进槽口与出槽口，所述喷淋槽体内设置有用于输送硅片的输送辊轮组，其特征是：所述输送辊轮组的上方和下方分别设有用于喷射清洗硅片的多个上喷头和下喷头。
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