[实用新型]一种适用多尺寸晶圆清洗花篮有效
| 申请号： | 200920277826.7 | 申请日： | 2009-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN201644434U | 公开（公告）日： | 2010-11-24 |
| 发明（设计）人： | 边永智;宁永铎;徐继平;籍小兵;韩少华 | 申请（专利权）人： | 北京有色金属研究总院;有研半导体材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B13/00;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人： | 郭佩兰 |
| 地址： | 100088*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种适用多尺寸晶圆清洗花篮，它包括：两块平行的侧板，侧板以一支插杆连接，侧板上有与卡杆连接的槽口，卡杆沿直线等距排布多个锯齿状缺口。一组(三支)带有卡槽、卡杆，其中正下方一支，左右侧上方各一支。正下方卡杆为固定的，用来承托晶圆。侧上方的两支可以在导槽内滑动，用来适应不同直径的硅片，通过卡锁固定后，能够有效防止晶圆在花篮中左右移动和滑落，上方不同位置开有放置插杆的圆孔，插入插杆后，可以防止晶圆在清洗过程中从上方脱出。本实用新型优点是：在晶圆清洗过程中，最大限度减少花篮与硅片接触面积，降低超声波衰减比例，提高晶圆清洗均匀性，提高清洗效果；花篮组合结实牢靠；可实现一个花篮适用于清洗不同直径晶圆。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 适用 尺寸 清洗 花篮 | ||
【主权项】：
一种适用多尺寸晶圆清洗花篮，其特征在于：它包括：两块平行的侧板，侧板以一支插杆连接，侧板上有与卡杆连接的槽口，卡杆沿直线等距排布多个锯齿状缺口。
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