[实用新型]一种适用多尺寸晶圆清洗花篮有效
| 申请号： | 200920277826.7 | 申请日： | 2009-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN201644434U | 公开（公告）日： | 2010-11-24 |
| 发明（设计）人： | 边永智;宁永铎;徐继平;籍小兵;韩少华 | 申请（专利权）人： | 北京有色金属研究总院;有研半导体材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B13/00;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人： | 郭佩兰 |
| 地址： | 100088*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 适用 尺寸 清洗 花篮 | ||
【权利要求书】：
1.一种适用多尺寸晶圆清洗花篮，其特征在于：它包括：两块平行的侧板，侧板以一支插杆连接，侧板上有与卡杆连接的槽口，卡杆沿直线等距排布多个锯齿状缺口。
2.根据权利要求1所述的一种适用多尺寸晶圆清洗花篮，其特征在于：在侧板的外侧，有用来固定可拆卸卡杆的卡锁。
3.根据权利要求1所述的一种适用多尺寸晶圆清洗花篮，其特征在于：在侧板的外侧，有适应不同尺寸硅片的槽口。
4.根据权利要求1所述的一种适用多尺寸晶圆清洗花篮，其特征在于：卡杆上缺口宽度一致，缺口宽度与传统花篮宽度相同。
5.根据权利要求1所述的一种适用多尺寸晶圆清洗花篮，其特征在于：所述的卡杆为三支，一支位于侧板下方，另外两支分别位于侧板上方两侧。
6.根据权利要求1所述的一种适用多尺寸晶圆清洗花篮，其特征在于：侧板上槽口与卡杆以固定销片卡合。
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