[实用新型]一种用于直拉法生长硅单晶车间内外吸尘器管道的插口有效
| 申请号： | 200920277473.0 | 申请日： | 2009-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN201624607U | 公开（公告）日： | 2010-11-10 |
| 发明（设计）人： | 高宇 | 申请（专利权）人： | 北京有色金属研究总院;有研半导体材料股份有限公司 |
| 主分类号： | A47L9/24 | 分类号： | A47L9/24;C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人： | 郭佩兰 |
| 地址： | 100088*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种用于直拉法生长硅单晶车间内、外部吸尘器管道的插口，该插口的一端设有接车间内吸尘器管道的接口，另一端设接外部吸尘器软管的接口，本插口的侧面设有窗口，窗口上方设有轴，有一主板与轴铰接。本实用新型的优点是：通过打开本插口上窗口的方式，使吸尘器气路不再经过吸尘器软管，使插口和接口连接处后端真空度大幅下降，两者连接紧密度下降，可以轻易的在吸尘器工作过程中仍具有较大吸力的情况下拔出吸尘器软管，既不损坏管道接口，也不必关闭吸尘器，避免造成吸尘器电机反复起停造成的损害。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 直拉法 生长 硅单晶 车间 内外 吸尘器 管道 插口 | ||
【主权项】：
一种用于直拉法生长硅单晶车间内、外部吸尘器管道的插口，其特征在于：插口一端设有接车间内吸尘器管道的接口，另一端设接外部吸尘器软管的接口，本插口的侧面设有窗口，窗口上方设有轴，有一盖板与轴绞接。
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