[实用新型]上下加热的上置式多晶硅炉无效
| 申请号： | 200920232987.4 | 申请日： | 2009-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN201473324U | 公开（公告）日： | 2010-05-19 |
| 发明（设计）人： | 王泽平;王波;范钦满;文林;管文礼 | 申请（专利权）人： | 管悦 |
| 主分类号： | C01B33/021 | 分类号： | C01B33/021;C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 南京众联专利代理有限公司 32206 | 代理人： | 王彦明 |
| 地址： | 222000 江苏省连云*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种上下加热的上置式多晶硅炉，设有炉体，炉体内设有保温笼，装料坩埚放置在保温笼底部的承接台上，在保温笼内设有上加热器和下加热器，保温笼设有四周笼体、上盖和底板，上加热体与保温笼的上盖固定，下加热体设置在承接台与保温笼的底板之间，在保温笼的底板的中部设有热门，在热门的下面设有冷却板。由保温笼的四周笼体、隔热底板、隔热上盖构成一个封闭的热场腔室。在长晶时先开启热门，由下加热器、上加热器和冷却板组成一个新的温度场，再利用下、上加热器的功率匹配，形成一个垂直的温度梯度，待硅结晶后再利用下、上加热器的功率匹配对硅晶进行退火和冷却直至硅晶锭出炉。它不仅能生产出高品质硅锭，也缩短整个工艺时间，降低能耗。 | ||
| 搜索关键词： | 上下 加热 上置式 多晶 | ||
【主权项】：
一种上下加热的上置式多晶硅炉，设有炉体，炉体内设有保温笼，装料坩埚放置在保温笼底部的承接台上，在保温笼内设有上加热器和下加热器，保温笼设有四周笼体、上盖和底板，其特征在于：上加热体与保温笼的上盖固定，下加热体设置在承接台与保温笼的底板之间，在保温笼的底板的中部设有热门，在热门的下面设有冷却板。
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