[实用新型]炉体温度梯度实时可调机构有效
| 申请号： | 200920210231.X | 申请日： | 2009-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN201514120U | 公开（公告）日： | 2010-06-23 |
| 发明（设计）人： | 黄小卫 | 申请（专利权）人： | 上海元亮光电科技有限公司 |
| 主分类号： | F27D1/00 | 分类号： | F27D1/00;F27D19/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201800 上海市嘉*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种炉体温度梯度实时可调机构，涉及晶体生长设备和高温设备，属于晶体生长设备和半导体设备制造技术领域，主要为炉体，由炉壁和炉盖构成，炉盖放置在炉壁上下端面，其特征在于：所述炉壁和上下炉盖在垂直方向上分成一层或多层，在水平方向上分成一块或多块。有益效果是将炉壁分割成若干个独立室、炉盖也分割成若干个独立冷却室的炉膛，在应用中每个腔室的冷却流体、液体或气体的温度和流量都可以分别控制，控制每个小腔室的流量和温度，就可以在炉膛的空间内实现对温度梯度的精确控制。 | ||
| 搜索关键词： | 体温 梯度 实时 可调 机构 | ||
【主权项】：
一种炉体温度梯度实时可调机构，主要为炉体，由炉壁和炉盖构成，炉盖放置在炉壁上下端面，其特征在于：所述炉壁和上下炉盖在垂直方向上分成一层或多层，在水平方向上分成一块或多块。
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