[实用新型]多晶硅氢化炉双层导流隔热罩无效
| 申请号： | 200920209029.5 | 申请日： | 2009-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN201485286U | 公开（公告）日： | 2010-05-26 |
| 发明（设计）人： | 李东曦;周积卫;茅陆荣;张华芹 | 申请（专利权）人： | 上海森松新能源设备有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/03 | 分类号： | C01B33/03 |
| 代理公司： | 上海欣创专利商标事务所 31217 | 代理人： | 西江 |
| 地址： | 201323 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种多晶硅氢化炉双层导流隔热罩，包括内层隔热罩和套设在所述内层隔热罩外侧的外层隔热罩，所述内层隔热罩和外层隔热罩底部设的隔热底盘，所述内层隔热罩和外层隔热罩之间形成导流通道；所述外层隔热罩的下部设有进气通道，所述内层隔热罩的上部设有进气通道。本实用新型通过设置两层隔热罩，两层隔热罩之间形成导流通道，工艺尾气经该导流通道进入内层隔热罩内的反应区，第一，工艺尾气是热的不良导体，可以起到很好的隔热作用；第二，工艺尾气在经过导流通道时吸收由反应区传来的热量后被预热，可以提高进后反应区后反应效率；第三，双层隔热罩所形成的气流方向使设备更加安全和稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 氢化 双层 导流 隔热 | ||
【主权项】：
一种多晶硅氢化炉双层导流隔热罩，其特征在于，包括内层隔热罩和套设在所述内层隔热罩外侧的外层隔热罩，所述内层隔热罩和外层隔热罩底部设的隔热底盘，所述内层隔热罩和外层隔热罩之间形成导流通道；所述外层隔热罩的下部设有进气通道，所述内层隔热罩的上部设有进气通道。
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