[实用新型]多晶硅实验还原炉无效

专利信息
申请号: 200920177445.1 申请日: 2009-09-04
公开(公告)号: CN201525754U 公开(公告)日: 2010-07-14
发明(设计)人: 朱青松;蒋文武;王存惠 申请(专利权)人: 江苏中能硅业科技发展有限公司
主分类号: C01B33/03 分类号: C01B33/03;F27B17/02
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 221004 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 多晶硅实验还原炉主要由底盘、含夹套冷却水的钟罩式双层炉桶组成,底盘上安装有电极、混和气进气管、混和气尾气出气管、炉体冷却水进水管、炉体冷却水出水管、底盘冷却水进水管、底盘冷却水出水管及其他附属部件组成,炉桶和底盘主体采用不锈钢材质,以减少设备材质对产品的污染,在还原炉底盘上布置一对电极,该多晶硅还原实验炉结构简单,主要用于实验生产多晶硅时所用。
搜索关键词: 多晶 实验 还原
【主权项】:
多晶硅实验还原炉主要由底盘、含夹套冷却水的钟罩式双层炉桶组成,底盘上安装有电极、混和气进气管、混和气尾气出气管、炉体冷却水进水管、炉体冷却水出水管、底盘冷却水进水管、底盘冷却水出水管及其他附属部件组成,炉桶和底盘主体采用不锈钢材质,其特征是在还原炉底盘上布置一对电极。
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