[实用新型]多晶硅实验还原炉无效
申请号: | 200920177445.1 | 申请日: | 2009-09-04 |
公开(公告)号: | CN201525754U | 公开(公告)日: | 2010-07-14 |
发明(设计)人: | 朱青松;蒋文武;王存惠 | 申请(专利权)人: | 江苏中能硅业科技发展有限公司 |
主分类号: | C01B33/03 | 分类号: | C01B33/03;F27B17/02 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 221004 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 多晶硅实验还原炉主要由底盘、含夹套冷却水的钟罩式双层炉桶组成,底盘上安装有电极、混和气进气管、混和气尾气出气管、炉体冷却水进水管、炉体冷却水出水管、底盘冷却水进水管、底盘冷却水出水管及其他附属部件组成,炉桶和底盘主体采用不锈钢材质,以减少设备材质对产品的污染,在还原炉底盘上布置一对电极,该多晶硅还原实验炉结构简单,主要用于实验生产多晶硅时所用。 | ||
搜索关键词: | 多晶 实验 还原 | ||
【主权项】:
多晶硅实验还原炉主要由底盘、含夹套冷却水的钟罩式双层炉桶组成,底盘上安装有电极、混和气进气管、混和气尾气出气管、炉体冷却水进水管、炉体冷却水出水管、底盘冷却水进水管、底盘冷却水出水管及其他附属部件组成,炉桶和底盘主体采用不锈钢材质,其特征是在还原炉底盘上布置一对电极。
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