[实用新型]输送装置及具有该输送装置的检测机台有效
| 申请号： | 200920156369.6 | 申请日： | 2009-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN201440141U | 公开（公告）日： | 2010-04-21 |
| 发明（设计）人： | 林汉声 | 申请（专利权）人： | 中茂电子(深圳)有限公司 |
| 主分类号： | G01N35/04 | 分类号： | G01N35/04;G01N35/00 |
| 代理公司： | 广东国晖律师事务所 44266 | 代理人： | 欧阳启明 |
| 地址： | 518054 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型适用于片状待测物检测技术领域，提供了一种输送装置及具有该输送装置的检测机台，所述输送装置包括：与所述输送装置通气连接的一组低压装置；一组用以承载搬移所述片状待测组件、且形成有一通气部的皮带组；一组用以驱动所述皮带组的驱动件；一组具有一个至少部分支撑于所述皮带组下方、并对应所述通气部形成有至少一个气孔的顶板，以及一组与所述顶板形成一个通气连接至所述低压装置气室的环绕壁的吸附支撑器。本实用新型提供的输送装置在输送片状待测物可以与其同步动作或者停止，减少太阳能晶圆检测机台于输送过程中，太阳能晶圆受到不必要的损伤，减少不必要停机，而提升检测效率及检测精度。 | ||
| 搜索关键词： | 输送 装置 具有 检测 机台 | ||
【主权项】：
一种输送装置，用来输送一片状待测组件，其特征在于，所述输送装置包括：与所述输送装置通气连接的一组低压装置；一组承载搬移所述片状待测组件、且形成有一通气部的皮带组；一组驱动所述皮带组的驱动件；一组具有一个至少部分支撑于所述皮带组下方、并对应所述通气部形成有至少一个气孔的顶板，以及一组与所述顶板形成一个通气连接至所述低压装置气室的环绕壁的吸附支撑器。
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