[实用新型]检测基片转速装置无效
| 申请号： | 200920126839.4 | 申请日： | 2009-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN201387430Y | 公开（公告）日： | 2010-01-20 |
| 发明（设计）人： | 谢鲜武 | 申请（专利权）人： | 谢鲜武 |
| 主分类号： | G01P3/00 | 分类号： | G01P3/00;G01P3/42 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 401147重庆市渝*** | 国省代码： | 重庆;85 |
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| 摘要： | 一种检测基片转速装置，包括驱动组件，主动轮组件，从动轮组件，转速轮组件及转速测量传感器。主动轮组件和从动轮组件用于支撑基片及驱动基片旋转，转速测量传感器用于测量转速轮组件旋转速度。本实用新型通过比较驱动组件旋转速度与转速轮组件旋转速度，对基片旋转作出检测，同时对碾磨、化学机械抛光、清洗装置的工作状况进行监测，从而提高设备的生产效率和基片的成品率。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 转速 装置 | ||
【主权项】：
1.一种检测基片转速装置，其特征是该检测基片转速装置包括：驱动组件，用于驱动主动轮组件旋转；主动轮组件，用于支撑基片及驱动基片旋转；从动轮组件，用于支撑基片；以及转速轮组件及转速测量传感器，用于测量转速轮组件旋转速度；其中，主动轮组件与从动轮组件并行排列，支撑及驱动基片旋转，转速测量传感器安装在转速轮组件附近，转速轮组件由从动轮组件驱动。
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