[实用新型]蓝宝石压力传感器有效
| 申请号： | 200920107386.0 | 申请日： | 2009-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN201382829Y | 公开（公告）日： | 2010-01-13 |
| 发明（设计）人： | 王冬;刘侃 | 申请（专利权）人： | 北京嘉东科技有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/00 | 分类号： | G01L1/00;G01L9/00 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 | 代理人： | 张春媛 |
| 地址： | 100027北京市朝阳*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种蓝宝石压力传感器，其内部设置有硅-蓝宝石敏感元件，该敏感元件由蓝宝石层和硅层组成，所述硅层的厚度至少为0.5微米。该硅-蓝宝石敏感元件包括印制在蓝宝石薄片上的异质外延性应变灵敏电桥电路。传感器的灵敏度和重复性得以提高，且可靠性高、精度好、温度误差极小、性价比高。 | ||
| 搜索关键词： | 蓝宝石 压力传感器 | ||
【主权项】：
1、一种蓝宝石压力传感器，内部设置有硅-蓝宝石敏感元件，其特征在于，所述硅-蓝宝石敏感元件由蓝宝石层和硅层组成，所述硅层的厚度至少为0.5微米。
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