[实用新型]探针卡保护装置有效
| 申请号： | 200920076028.8 | 申请日： | 2009-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN201508366U | 公开（公告）日： | 2010-06-16 |
| 发明（设计）人： | 刘铁;贾珂;刘春梅;吴俊 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/02 | 分类号： | G01R1/02;G01R1/073 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 20120*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种探针卡保护装置，包括探针保护盖，在所述探针保护盖上安装卡扣，在所述探针卡上固定与所述卡扣位置对应的卡扣基座，所述探针保护盖扣住所述探针卡上的所有探针，通过所述卡扣和所述卡扣基座的啮合将所述探针保护盖固定于所述探针卡上。本技术方案规范了保护盖的装取操作，减少了人为差异，增强了可控性，同时可根据使用的情况调节卡扣的松紧度，提高了保护装置的使用周期。该探针卡保护装置制作方式简单，易维修，大大降低了探针卡的保护成本且可重复使用，选用的材料不会影响到正常生产，如果报废，可回收，无污染。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 保护装置 | ||
【主权项】：
一种探针卡保护装置，包括用于扣住探针卡上所有探针的探针保护盖，其特征在于，所述探针保护盖上安装有卡扣，所述探针卡上对应于所述卡扣的位置设有卡扣基座，通过所述卡扣和卡扣基座的连接将所述探针保护盖固定于探针卡上。
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