[实用新型]晶圆盒清洁装置有效
| 申请号： | 200920069196.4 | 申请日： | 2009-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN201389530Y | 公开（公告）日： | 2010-01-27 |
| 发明（设计）人： | 田华;章亚荣 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | B08B1/00 | 分类号： | B08B1/00;B08B11/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人： | 屈 蘅;李时云 |
| 地址： | 2012*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶圆盒清洁装置，其包括：支撑台，包括作业面，用于承载晶圆盒；驱动装置，设置于所述支撑台内；滑板，设置于所述作业面上，并与所述驱动装置连接；以及无尘布，固定在所述滑板上；其中，所述驱动装置驱动所述滑板运动，带动所述无尘布运动，以清洁所述晶圆盒。本实用新型所提供的晶圆盒清洁装置可以减少晶圆盒在操作过程中因摩擦而产生的微小塑料颗粒，从而减小了颗粒对晶圆的损坏的可能，提高了晶圆的成品率，并保证了工艺设备的正常运作，且所述无尘布易更换清洗，可提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 晶圆盒 清洁 装置 | ||
【主权项】：
1、一种晶圆盒清洁装置，其特征在于，包括：支撑台，包括作业面，用于承载晶圆盒；驱动装置，设置于所述支撑台内；滑板，设置于所述作业面上，并与所述驱动装置连接；以及无尘布，固定在所述滑板上；其中，所述驱动装置驱动所述滑板运动，带动所述无尘布运动，以清洁所述晶圆盒。
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