[实用新型]一种多功能镀膜设备无效
| 申请号： | 200920056047.4 | 申请日： | 2009-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN201400714Y | 公开（公告）日： | 2010-02-10 |
| 发明（设计）人： | 马新欣;牛仕超;王双喜;余晋彬;黄国权 | 申请（专利权）人： | 佛山市华南精密制造技术研究开发院;佛山市德科机器人技术与装备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22 |
| 代理公司： | 广州三环专利代理有限公司 | 代理人： | 詹仲国 |
| 地址： | 528000广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种多功能镀膜设备，包括工件架、电弧离子镀靶源、磁控溅射靶源、加热器、高压系统、真空室以及真空系统，其特征在于：所述多功能镀膜设备还设有射频天线，工件架连接有脉冲高压系统。工件架底部与偏压及脉冲高压源相连，偏压0～2000V可调，高压10～60kV可调。本实用新型制备的沉积膜层均匀性好、膜基结合力强，可对各种工模具进行全方位等离子注入与离子镀膜协同处理的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多功能 镀膜 设备 | ||
【主权项】：
1、一种多功能镀膜设备，包括工件架、电弧离子镀靶源、磁控溅射靶源、加热器、高压系统、真空室以及真空系统，其特征在于：所述多功能镀膜设备还设有射频天线，工件架连接有脉冲高压系统。
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