[实用新型]飞秒激光对材料表面改性的微精细加工装置无效
| 申请号： | 200920031767.5 | 申请日： | 2009-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN201333592Y | 公开（公告）日： | 2009-10-28 |
| 发明（设计）人： | 陈平安;陈在维;牛建设;任悦 | 申请（专利权）人： | 陕西午禾科技有限责任公司 |
| 主分类号： | B23K26/00 | 分类号： | B23K26/00 |
| 代理公司： | 西安文盛专利代理有限公司 | 代理人： | 李中群 |
| 地址： | 710075陕西省西安*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种飞秒激光对材料表面改性的微精细加工装置，由飞秒激光器、显微光路系统、高精度三维工作台和控制系统主机组成，飞秒激光器采发出的激光光束经显微光路系统后聚焦照射到位于三维工作台处的被加工部件上，显微光路系统包括加工观察用显微镜和带有CCD监控成像单元的光路系统，三维工作台与控制系统主机控制联接。本实用新型将飞秒激光作为加工光源，以其独特的超短持续时间和超强峰值功率特点，配合光学系统和高精度三维工作台并通过软件程序的控制，对材料表面改性进行精细加工，由于加工时没有热影响区存在，能够实现亚微米等级的超精密加工，为需要高精密加工的汽车工业、半导体、通讯工业方面等提供了非常有用的工具。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 材料 表面 改性 精细 加工 装置 | ||
【主权项】：
1、一种飞秒激光对材料表面改性的微精细加工装置，其特征在于由飞秒激光器(1)、显微光路系统、三维工作台(5)和控制系统主机(2)组成，飞秒激光器(1)采用波长为800nm、脉宽180fs、频率1kHz、功率1W、能量1mJ的飞秒激光器，其发出的激光光束经显微光路系统后聚焦照射到位于三维工作台(5)处的被加工部件(4)上，显微光路系统包括加工观察用显微镜(35)和带有CCD监控成像单元的光路系统，飞秒激光器(1)的信号控制输入端与控制系统主机(2)的光控信号输出端联接，三维工作台(5)的移动控制输入端与控制系统主机(2)的工作台工作信号输出端联接，显微光路系统中CCD监控成像单元的信号输出/输入端与控制系统主机(2)的CCD信号输入/输出端联接。
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