[实用新型]飞秒激光对材料表面改性的微精细加工装置无效
| 申请号： | 200920031767.5 | 申请日： | 2009-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN201333592Y | 公开（公告）日： | 2009-10-28 |
| 发明（设计）人： | 陈平安;陈在维;牛建设;任悦 | 申请（专利权）人： | 陕西午禾科技有限责任公司 |
| 主分类号： | B23K26/00 | 分类号： | B23K26/00 |
| 代理公司： | 西安文盛专利代理有限公司 | 代理人： | 李中群 |
| 地址： | 710075陕西省西安*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 激光 材料 表面 改性 精细 加工 装置 | ||
1、一种飞秒激光对材料表面改性的微精细加工装置，其特征在于由飞秒激光器(1)、显微光路系统、三维工作台(5)和控制系统主机(2)组成，飞秒激光器(1)采用波长为800nm、脉宽180fs、频率1kHz、功率1W、能量1mJ的飞秒激光器，其发出的激光光束经显微光路系统后聚焦照射到位于三维工作台(5)处的被加工部件(4)上，显微光路系统包括加工观察用显微镜(35)和带有CCD监控成像单元的光路系统，飞秒激光器(1)的信号控制输入端与控制系统主机(2)的光控信号输出端联接，三维工作台(5)的移动控制输入端与控制系统主机(2)的工作台工作信号输出端联接，显微光路系统中CCD监控成像单元的信号输出/输入端与控制系统主机(2)的CCD信号输入/输出端联接。
2、根据权利要求1所述的飞秒激光对材料表面改性的微精细加工装置，其特征在于飞秒激光器(1)具有依光束通路设置的泵浦激光器(11)、光纤振荡器(12)、光纤展宽器(13)和光脉冲压缩器(18)，在光纤展宽器(13)和光脉冲压缩器(18)之间设置有由配备了长寿命准连续电源(14)、二极管泵浦固体激光器(15)和光电控制模块(17)的飞秒激光再生放大器(16)构成的稳定功率输出系统。
3、根据权利要求2所述的飞秒激光对材料表面改性的微精细加工装置，其特征是显微光路系统具有光路导入装置(33)、半反半透分光镜(34)、显微镜(35)和由带监视器(31)的监控用CCD(32)组成的CCD监控成像单元，飞秒激光器(1)发出的激光光束经光路导入装置(33)后至半反半透分光镜(34)，其反射光经显微镜(35)后聚焦照射到位于三维工作台(5)处的被加工部件(4)上，其透射光信号通至CCD监控成像单元内。
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