[实用新型]用于处理全氟碳化物的物理和化学协同净化系统无效
| 申请号： | 200920012475.7 | 申请日： | 2009-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN201427018Y | 公开（公告）日： | 2010-03-24 |
| 发明（设计）人： | 孙冰;解宏端;朱小梅 | 申请（专利权）人： | 大连海事大学 |
| 主分类号： | B01D53/74 | 分类号： | B01D53/74;B01D53/70 |
| 代理公司： | 大连东方专利代理有限责任公司 | 代理人： | 李 猛 |
| 地址： | 116026辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 用于处理全氟碳化物的物理和化学协同净化系统，在待处理气体输入口处设置有一流量控制器，流量控制器通过管路与石英管反应器连接，反应器中采用微波激发并维持微波等离子体，石英管反应器的内壁上预先涂抹并固化一层催化剂薄膜；所述的等离子体由微波发生器通过波导管提供能量，波导管和石英管反应器采用中心点直接耦合方式，等离子体为等离子体炬形，按照气体流入的方向在石英管反应器后部设置有湿式吸收装置。本实用新型具有污染气体脱除效率高，节省能源，无二次污染的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 处理 碳化物 物理 化学 协同 净化系统 | ||
【主权项】：
1、用于处理全氟碳化物的物理和化学协同净化系统，其特征在于主要包括以下装置：在待处理气体输入口(1)处设置有一流量控制器(2)，流量控制器(2)通过管路与石英管反应器(3)连接，反应器中采用微波激发并维持微波等离子体(5)，石英管反应器(3)的内壁上预先涂抹并固化一层催化剂薄膜(4)；所述的等离子体(5)由微波发生器(8)通过波导管(7)提供能量，波导管(7)和石英管反应器(3)采用中心点直接耦合方式，等离子体为等离子体炬形，按照气体流入的方向在石英管反应器(3)后部设置有湿式吸收装置(6)。
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