[发明专利]双向面外运动电热微驱动器无效
| 申请号： | 200910307852.4 | 申请日： | 2009-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN101659388A | 公开（公告）日： | 2010-03-03 |
| 发明（设计）人： | 吴义伯;毛胜平;王娟;丁桂甫;张丛春;汪红 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02 |
| 代理公司： | 上海交达专利事务所 | 代理人： | 王锡麟;王桂忠 |
| 地址： | 200240上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种微机电系统技术领域的双向面外运动电热微驱动器，包括：基座、支撑块、下路电阻丝层、聚合物驱动层和上路电阻丝层，其中：支撑块和下路电阻丝层位于基座上，下路电阻丝层的电阻部分伸出悬空，聚合物驱动层位于支撑块和下路电阻丝层上，聚合物驱动层的一端与支撑块固定连接，另一端伸出悬空，上路电阻丝层淀积在聚合物驱动层上，聚合物驱动层的悬梁部分位于上路电阻丝层的悬空部分和下路电阻丝层的悬空部分之间且紧密相连形成三层膜的三明治结构。本发明利用三层膜电热微驱动器提供双向驱动位移，通过两个偏置层进行偏置复位，充分发挥聚合物基电热微驱动器驱动位移大、功耗低、结构简单的优势，扩大电热微驱动器在微机电系统技术领域的应用。 | ||
| 搜索关键词： | 双向 外运 电热 驱动器 | ||
【主权项】：
1.一种双向面外运动电热微驱动器，包括：基座、支撑块、下路电阻丝层、聚合物驱动层和上路电阻丝层，其特征在于：支撑块和下路电阻丝层位于基座上，下路电阻丝层的电阻部分伸出悬空，聚合物驱动层位于支撑块和下路电阻丝层上，聚合物驱动层的一端与支撑块固定连接，另一端伸出悬空，上路电阻丝层淀积在聚合物驱动层上，聚合物驱动层的悬梁部分位于上路电阻丝层的悬空部分和下路电阻丝层的悬空部分之间且紧密相连形成三层结构。
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