[发明专利]光罩的检测方法及装置

摘要

本发明公开一种光罩的检测方法，该方法包括以下步骤：在光罩的左上、左中、左下、中上、中下、右上、右中、及右下边缘处各放置一个用于检测光罩总长度的十字形标识；在光罩上摆放多组不同长度的线形标识和多组不同长度的方形标识；分别测量从所述左中处十字形标识到右中处十字形标识之间的距离、从所述中上处十字形标识到中下处十字形标识之间的距离，得出光罩的总长度；通过测量所述线形标识和方形标识，分别得出光罩的线条精度和方格精度。本发明还公开了一种光罩的检测装置。本发明可准确、方便地检测不规则形状光罩的精度，这种固定点测量技术还可节省测试时间，正负效果的图形还可以同时测试，便于工艺的调整。

主权项

1.一种光罩的检测方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：在光罩的左上、左中、左下、中上、中下、右上、右中、及右下边缘处各放置一个用于检测光罩总长度的十字形标识；在光罩上摆放多组不同长度的线形标识和多组不同长度的方形标识；分别测量从所述左中处十字形标识到右中处十字形标识之间的距离、从所述中上处十字形标识到中下处十字形标识之间的距离，得出光罩的总长度；通过测量所述线形标识和方形标识，分别得出光罩的线条精度和方格精度。