[发明专利]一种CIGS粉末、靶材、薄膜及其制备方法无效
| 申请号： | 200910304873.0 | 申请日： | 2009-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN101613091A | 公开（公告）日： | 2009-12-30 |
| 发明（设计）人： | 周继承;巩小亮;黄迪辉 | 申请（专利权）人： | 中南大学 |
| 主分类号： | C01B19/00 | 分类号： | C01B19/00;C23C14/34;C23C14/06 |
| 代理公司： | 长沙市融智专利事务所 | 代理人： | 颜 勇 |
| 地址： | 410083湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种CIGS粉末、靶材、薄膜及其制备方法；所述的CIGS粉末为纯CuInxGa1-xSe2相，其中0＜x＜1；该CIGS靶材具有均一的CuInxGa1-xSe2相，由所述的CIGS粉末经冷等静压或模压成型后烧结而得；所述的CIGS薄膜的制备方法为：先由所述的CIGS靶材经磁控溅射方法沉积一层薄膜，再将该薄膜进行热处理。所得的CIGS靶材的相对密度达95％以上，成分均匀，具有均一的CuInxGa1-xSe2相，制作成本低廉且性能稳定。本发明提供的CIGS薄膜制备工艺，极大地简化了传统工艺，提高了原材料利用率和生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 cigs 粉末 靶材 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种CIGS粉末，其特征在于，所述的CIGS粉末为纯CuInxGa1-xSe2相，其中0＜x＜1。
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