[发明专利]一种适用于90炉的大投料的热场系统无效
申请号: | 200910264836.1 | 申请日: | 2009-12-24 |
公开(公告)号: | CN102108545A | 公开(公告)日: | 2011-06-29 |
发明(设计)人: | 唐旭辉 | 申请(专利权)人: | 江苏聚能硅业有限公司 |
主分类号: | C30B15/14 | 分类号: | C30B15/14 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215200 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: |
本发明揭示了一种用于太阳能单晶硅制造的热场系统,包括单晶炉室,石墨埚,托杆,加热器,三瓣埚,导流筒,保温筒,保温盖,其中单晶炉室内设置有保温筒,保温筒上设置保温盖,保温筒内设置导流筒,导流筒与保温盖是连接在一起的,导流筒的上端口与保温盖连接,下端口伸入石墨埚内,加热器位于三瓣埚和保温筒侧壁之间,环绕三瓣埚设置,三瓣埚下端设置有托杆,其中所述导流筒内径范围为 |
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搜索关键词: | 一种 适用于 90 投料 系统 | ||
【主权项】:
1.一种用于太阳能单晶硅制造的热场系统,包括单晶炉室,石墨埚,托杆,加热器,三瓣埚,导流筒,保温筒,保温盖,其中单晶炉室内设置有保温筒,保温筒上设置保温盖,保温筒内设置导流筒,导流筒与保温盖是连接在一起的,导流筒的上端口与保温盖连接,下端口伸入石墨埚内,加热器位于三瓣埚和保温筒侧壁之间,环绕三瓣埚设置,三瓣埚下端设置有托杆,其中所述导流筒内径范围为
到
高度范围为330到410mm,所述加热器的内径范围为
到
所述三瓣埚内径范围为
到![]()
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