[发明专利]一种适用于90炉的大投料的热场系统无效
申请号: | 200910264836.1 | 申请日: | 2009-12-24 |
公开(公告)号: | CN102108545A | 公开(公告)日: | 2011-06-29 |
发明(设计)人: | 唐旭辉 | 申请(专利权)人: | 江苏聚能硅业有限公司 |
主分类号: | C30B15/14 | 分类号: | C30B15/14 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215200 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 适用于 90 投料 系统 | ||
技术领域
本发明涉及单晶硅制造领域,特别涉及一种适用于90炉的大投料的热场系统。
背景技术
硅(Si)是一种半导体元素,太阳能硅电池片利用硅的特性,在硅表面形成光伏特效应,产生电能。为制备太阳能电池片,需要将单晶硅原料重熔后定向凝固,然后切片做成电池片组件。为实现单晶硅的定向长晶凝固过程,需要一个能稳定长晶的热场系统,该热场系统包括上炉室、位于中部的加热器以及下炉室,所述上下炉室主要起保温隔热的作用,所述加热器主要是提供热场系统升温所需要的热能。
目前大部分使用的是80和85型号的单晶炉。就80和85型号的单晶炉要是还没有加大投料量,或降低能耗的情况下我想其利润是看的见的,但目前80%的80型号的单晶炉还是18寸的热场投料量也就是在55-60KG之间,85型号的也是20寸热场在70-80KG之间,如果在生产过程中因种种因数发生的生产事故,导致你的有可能整炉料报废。
而专利号为200420079639申请公开了一种硅单晶的热系统装置,其系统装置包括石墨埚,加热器,保温罩,保温盖,保温材料,热系统上部设有导流筒和保温盖,下部设有炉底护盘,炉底护盘的底部和周围设有保温材料,保温罩及保温罩外侧的保温材料支撑在炉底护盘上,保温盖设置在石墨罩上面,导流设置在保温盖的盖口内。
在上述的传统热场系统中,其缺点是所述系统内部的供热效果还不能令人满意,而且热系统装置在加料上也不足,这也导致产量少。
发明内容
本发明的目的是提供一种适用于90炉的大投料的热场系统,可很好的实现供热和保温,增加投料量。
一方面,本发明提供一种用于太阳能单晶硅制造的热场系统,包括上炉室、位于中部的加热器以及下炉室。
采用本发明所述的一种适用于90炉的大投料的热场系统,所述热场系统的增加投料量,降低制造成本。
本发明的技术方案为一种用于太阳能单晶硅制造的热场系统,包括单晶炉室,石墨埚,托杆,加热器,三瓣埚,导流筒,保温筒,保温盖,其中单晶炉室内设置有保温筒,保温筒设置保温盖,保温筒内设置导流筒,导流筒与保温盖是连接在一起的,导流筒的上端口与保温盖连接,下端口伸入石墨埚内,加热器位于三瓣埚和保温筒侧壁之间,环绕三瓣埚设置,三瓣埚下端设置有托杆,其中所述导流筒内径范围为到mm,高度范围为330到410mm,所述加热器的内径范围为到mm,所述三瓣埚内径范围为到mm。
所述导流筒分为导流筒内层.导流筒外层,导流筒内层的内径范围为到mm,导流筒外层的内径范围为到mm。
所述保温筒分上保温筒.中保温筒,下保温筒,其中保温筒底部有下保温筒,中部有中保温筒和顶部有上保温筒,上保温桶筒的内径范围为到mm,中保温筒的内径范围为到mm,下保温筒的内径范围为到mm。
所述保温盖分上保温盖和下保温盖,其中上保温筒上设置有下保温盖,导流筒上设置有上保温盖,上保温盖的内径为到mm,下保温盖的内径为到mm。所述托杆的外径为到mm。
本发明的有效效果为:本发明通过调整系统内部的大小和结构,能提高供热效果,而且热系统装置在加料上也充分,产量增大。
附图说明
图1为本发明所述的热场系统的结构图;
其中图形标记为:
1.托杆2.加热器3.三瓣埚4.导流筒内层5.导流筒外层6.上保温桶筒7.中保温筒8.下保温筒9.上保温盖10.下保温盖11.上炉室
具体实施方式
下面结合附图和实施例进一步说明本发明的技术方案。
参见图1,图1显示了一种用于太阳能单晶硅制造的热场系统,包括单晶炉室,石墨埚,托杆1,加热器2,三瓣埚3,导流筒内层4,导流筒外层5,上保温桶筒6,中保温筒7,下保温筒8,上保温盖9和下保温盖10,其中单晶炉室内设置有上保温桶筒6,中保温筒7和下保温筒8,上保温桶筒6和下保温筒8上分别设置有上保温盖9和下保温盖10,在上保温桶筒6,中保温筒7和下保温筒8内部都设置有导流筒内层4和导流筒外层5,导流筒外层5分别于对应的上保温盖9和下保温盖10连接,导流筒外层5的上端口与上保温盖9和下保温盖10连接,下端口伸入石墨埚内,加热器2位于三瓣埚3和各保温筒侧壁之间,环绕三瓣埚3设置,三瓣埚3下端设置有托杆1。
下面介绍一下使用本发明取得的预期效果(本发明是对热场系统的改进,故通过改进前和改进后的对比进行说明):
具体实施例1:
在90-22内装不同的石墨热场,其中各个部件的尺寸大小如下:
1.托杆 外径mm
2.加热器:内径mm,总高度655mm,发热区500mm
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