[发明专利]研磨机盘面整形修正轮无效
申请号: | 200910263282.3 | 申请日: | 2009-12-18 |
公开(公告)号: | CN101708594A | 公开(公告)日: | 2010-05-19 |
发明(设计)人: | 唐发远;李太保 | 申请(专利权)人: | 南京华联兴电子有限公司 |
主分类号: | B24B53/02 | 分类号: | B24B53/02 |
代理公司: | 南京君陶专利商标代理有限公司 32215 | 代理人: | 沈根水 |
地址: | 210028 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明是研磨机盘面整形修正轮,其结构是由传动轮与整形轮两部分组成,传动轮啮合在外齿圈与整形轮之间,从而保证整形轮沿着内齿圈做圆周运动,外齿圈接研磨机中心轴。整形轮在下研磨盘与上研磨盘之间。本发明的优点:通过整形轮沿着内齿圈做匀速圆周运动,可以在较短的时间内,使盘面的水平度和平整度达到要求,从而提高水晶片厚度率的一致性,提高水晶片品质。同时,传动轮与整形轮的运动,可以达到清洗内外齿圈的目的,从而减少游轮消耗。 | ||
搜索关键词: | 研磨机 盘面 整形 修正 | ||
【主权项】:
研磨机盘面整形修正轮,其特征是由传动轮(4)与整形轮(3)两部分组成,传动轮(4)啮合在外齿圈(5)与整形轮(3)之间,从而保证整形轮(3)沿着内齿圈(1)做圆周运动。
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