[发明专利]离子管及离子束的引出方法无效
| 申请号： | 200910262405.1 | 申请日： | 2009-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN101764021A | 公开（公告）日： | 2010-06-30 |
| 发明（设计）人： | 长田佑介;盐野忠久 | 申请（专利权）人： | 株式会社昭和真空 |
| 主分类号： | H01J27/14 | 分类号： | H01J27/14 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 谢丽娜;关兆辉 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种离子管及离子束的引出方法，离子管排列有多个离子束引出孔，使得离子束电流密度变得均匀。该离子管具有由阴极和阳极构成的等离子体生成构件，以及从等离子体中引出离子束的栅极，栅极沿长边方向具有多个或者一连串的离子束引出孔，以多个或者一连串的离子束引出孔的中心部为原点，以长边方向为x轴方向，以离子束射出方向为z轴正方向，该离子管还具有：第一磁石，其配置于多个或者一连串的离子束引出孔的周围，并对多个或者一连串的离子束引出孔施加z轴正方向的磁场；以及第二磁石，其配置于多个或者一连串的离子束引出孔的端部，对端部附近施加x轴原点方向的磁场。 | ||
| 搜索关键词： | 离子 离子束 引出 方法 | ||
【主权项】：
一种离子管，具有由阴极和阳极构成的等离子体生成构件，以及从等离子体中引出离子束的栅极，其特征在于，该栅极沿长边方向具有多个或者一连串的离子束引出孔，以该多个或者一连串的离子束引出孔的中心部为原点，以该长边方向为x轴方向，以离子束射出方向为z轴正方向，该离子管还具有：第一磁石，其配置于该多个或者一连串的离子束引出孔的周围，并对该多个或者一连串的离子束引出孔施加z轴正方向的磁场；以及第二磁石，其配置于该多个或者一连串的离子束引出孔的端部，对该端部附近施加x轴原点方向的磁场。
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