[发明专利]离子管及离子束的引出方法

权利要求书

1.一种离子管，具有由阴极和阳极构成的等离子体生成构件，以及从等离子体中引出离子束的栅极，其特征在于，

该栅极沿长边方向具有多个或者一连串的离子束引出孔，

以该多个或者一连串的离子束引出孔的中心部为原点，以该长边方向为x轴方向，以离子束射出方向为z轴正方向，

该离子管还具有：

第一磁石，其配置于该多个或者一连串的离子束引出孔的周围，并对该多个或者一连串的离子束引出孔施加z轴正方向的磁场；以及

第二磁石，其配置于该多个或者一连串的离子束引出孔的端部，对该端部附近施加x轴原点方向的磁场。

2.根据权利要求1所述的离子管，其特征在于，

以与x轴和z轴垂直的轴为y轴，

至少4个所述第二磁石配置于包围所述多个或者一连串的离子束引出孔的x轴对称位置和y轴对称位置，所述第二磁石各自的S极朝向x轴原点方向，N极朝向其相反方向进行配置。

3.一种将排列有多个离子束引出孔的离子管中的离子束引出的方法，其特征在于，包括以下步骤：

(A)在该离子管内部生成等离子体的步骤；以及

(B)通过第一磁石向该多个离子束引出孔的离子束射出方向(z轴正方向)施加磁场，并且通过第二磁石施加从该多个离子束引出孔的端部朝向中心部方向(x轴原点方向)的磁场，并对形成有该多个离子束引出孔的栅极施加电压，引出离子并使其加速的步骤。