[发明专利]靶材组件的焊接方法无效
申请号: | 200910261153.0 | 申请日: | 2009-12-28 |
公开(公告)号: | CN101745714A | 公开(公告)日: | 2010-06-23 |
发明(设计)人: | 姚力军;潘杰;王学泽;鲍伟江;刘庆 | 申请(专利权)人: | 宁波江丰电子材料有限公司 |
主分类号: | B23K1/08 | 分类号: | B23K1/08;B23K1/20;B23K1/19 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 李丽 |
地址: | 315400 浙江省余*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 一种靶材组件的焊接方法,包括:提供铬靶材坯料、背板和钎料;对所述铬靶材坯料进行预热,将钎料均匀涂布在铬靶材坯料的结合面,使得钎料在铬靶材坯料的结合面充分浸润,去除铬靶材坯料的结合面上多余的钎料;对所述背板的结合面进行打磨处理,并进行预热,将钎料均匀涂布在背板的结合面,超声波处理添加钎料的背板;对铬靶材坯料和背板进行钎焊,将铬靶材坯料焊接至背板形成靶材组件;冷却靶材组件。本发明能够增强铬靶材坯料与背板在钎焊后的结合强度,符合产品品质要求。 | ||
搜索关键词: | 组件 焊接 方法 | ||
【主权项】:
一种靶材组件的焊接方法,其特征在于,包括:提供铬靶材坯料、背板和钎料;对所述铬靶材坯料进行预热,将钎料均匀涂布在铬靶材坯料的结合面,使得钎料在铬靶材坯料的结合面充分浸润,去除铬靶材坯料的结合面上多余的钎料;对所述背板的结合面进行打磨处理,并进行预热,将钎料均匀涂布在背板的结合面,超声波处理添加钎料的背板;对铬靶材坯料和背板进行钎焊,将铬靶材坯料焊接至背板形成靶材组件;冷却靶材组件。
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