[发明专利]一种小孔流导的测量方法

摘要

本发明的一种小孔流导的测量方法，特别是流导值小于5×10-9m3/s且为分子流状态下的小孔流导的测量方法，属于测量技术领域。实现该方法的装置由活塞、绝对式压力计、真空阀门、变容室、小孔、真空室、高真空规、真空泵和气瓶组成。本发明测量结束时变容室压力维持在初始压力值，提高了小孔流导测量值的准确性；通过测量活塞的横截面积和移动距离来计算小孔流导，使测量下限可以达到2×10-9m3/s及以下，同时具有较小的测量不确定度；具有较短的测量时间，提高了工作效率。

主权项

1.一种小孔流导的测量方法，实现该方法的该装置由活塞(1)、绝对式压力计(2)、真空阀门(3)、变容室(4)、小孔(5)、真空阀门(6)、真空室(7)、高真空规(8)、真空阀门(9)、真空泵(10)、真空阀门(11)、真空泵(12)、气瓶(13)和真空阀门(14)组成；其连接关系为：活塞(1)和变容室采用动密封连接，绝对式压力计(2)通过真空阀门(3)与变容室(4)连接，气瓶(13)通过真空阀门(14)与变容室(4)连接，真空泵(12)通过阀门(11)与变容室(4)连接，高真空计(8)与真空室(7)直接连接，真空泵(10)通过阀门与真空室(7)连接，变容室(4)通过小孔(5)、真空阀门(6)与真空室(7)连接；其特征在于：1)打开阀门(3)，打开电容薄膜规(2)，打开真空泵(12)，打开阀门(11)对变容室(4)抽真空；2)关闭阀门(11)，打开阀门(14)，对变容室(4)充气，气体压力由电容薄膜规(2)测量，记录读数为p；3)打开阀门(9)，打开真空泵(10)，对真空室(7)抽真空，真空度由电离规(8)测量；4)打开阀门(6)，使变容室(4)的的气体通过小孔(5)流入到真空室(7)，计时为t1；当变容室(4)的压力降低为(1-1‰)p时，活塞(1)开始推进以减小变容室(4)的容积使变容室(4)中的压力上升；活塞面积为A；5)当变容室(4)的压力上升为(1+1‰)p时，活塞(1)停止运动，这时变容室(4)中的压力又开始降低；6)当变容室(4)的压力降低为p时，计时为t₂，活塞的移动距离计为s；7)小孔(5)的流导C用C＝A×s/(t₂-t₁)计算得到；8)用贝赛尔公式计算流导测量不确定度。