[发明专利]一种小孔流导的测量方法

权利要求书

1.一种小孔流导的测量方法，实现该方法的该装置由活塞(1)、绝对式压力计(2)、真空阀门(3)、变容室(4)、小孔(5)、真空阀门(6)、真空室(7)、高真空规(8)、真空阀门(9)、真空泵(10)、真空阀门(11)、真空泵(12)、气瓶(13)和真空阀门(14)组成；其连接关系为：活塞(1)和变容室采用动密封连接，绝对式压力计(2)通过真空阀门(3)与变容室(4)连接，气瓶(13)通过真空阀门(14)与变容室(4)连接，真空泵(12)通过阀门(11)与变容室(4)连接，高真空计(8)与真空室(7)直接连接，真空泵(10)通过阀门与真空室(7)连接，变容室(4)通过小孔(5)、真空阀门(6)与真空室(7)连接；其特征在于：

1)打开阀门(3)，打开电容薄膜规(2)，打开真空泵(12)，打开阀门(11)对变容室(4)抽真空；

2)关闭阀门(11)，打开阀门(14)，对变容室(4)充气，气体压力由电容薄膜规(2)测量，记录读数为p；

3)打开阀门(9)，打开真空泵(10)，对真空室(7)抽真空，真空度由电离规(8)测量；

4)打开阀门(6)，使变容室(4)的的气体通过小孔(5)流入到真空室(7)，计时为t1；当变容室(4)的压力降低为(1-1‰)p时，活塞(1)开始推进以减小变容室(4)的容积使变容室(4)中的压力上升；活塞面积为A；

5)当变容室(4)的压力上升为(1+1‰)p时，活塞(1)停止运动，这时变容室(4)中的压力又开始降低；

6)当变容室(4)的压力降低为p时，计时为t₂，活塞的移动距离计为s；

7)小孔(5)的流导C用C＝A×s/(t₂-t₁)计算得到；

8)用贝赛尔公式计算流导测量不确定度。

2.根据权利要求1所述的一种小孔流导的测量方法，其特征在于：步骤1)中变容室(4)的真空度小于1×10^-1Pa，温度为23℃。

3.根据权利要求1所述的一种小孔流导的测量方法，其特征在于：所述步骤2)中变容室(4)充入的气体压力p不超过1000Pa。

4.根据权利要求1所述的一种小孔流导的测量方法，其特征在于：所述步骤3)中真空室(7)的真空度低于1×10^-4Pa。 

5.根据权利要求1所述的一种小孔流导的测量方法，其特征在于：所述步骤4)中活塞(1)直径范围为(0.0008-0.005)m。

6.根据权利要求1所述的一种小孔流导的测量方法，其特征在于：所述步骤4)中活塞(1)与变容室(4)为动密封连接，且不发生泄漏；活塞(1)的截面积A由计量部门测量，并出具测量证书；所述步骤4)中当变容室(4)的压力在(1-1‰)p±0.00005p范围时，既认为变容室(4)的压力降低为(1-1‰)p。

7.根据权利要求1所述的一种小孔流导的测量方法，其特征在于：所述步骤5)中当变容室(4)的压力在(1+1‰)p±0.00005p范围时，既认为变容室(4)的压力上升为(1+1‰)p。

8.根据权利要求1所述的一种小孔流导的测量方法，其特征在于：所述步骤6)中当变容室(4)的压力在p±0.00005p范围时，既认为变容室(4)的压力降低为(1+1‰)p。

9.根据权利要求1所述的一种小孔流导的测量方法，其特征在于：所述步骤7)中流导C取n次(n≥6)测量的平均值。