[发明专利]具有暗化光瞳的大孔径物镜有效
| 申请号： | 200910252633.0 | 申请日： | 2005-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN101713864A | 公开（公告）日： | 2010-05-26 |
| 发明（设计）人： | 汉斯-于尔根·曼;戴维·谢弗;威廉·乌尔里希 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司SMT股份公司 |
| 主分类号： | G02B17/06 | 分类号： | G02B17/06 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 邱军 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种物镜，尤指一种特别在波长≤193nm中使用的微光刻投影物镜，包括有：第一局部物镜(100)，具有至少一个镜体，其中镜体(S1)不具有能由光束穿过的孔；第二局部物镜(200)，具有至少一个主凹面镜(SK1)和副凹面镜(SK2)，其中主凹面镜(SK1)和副凹面镜(SK2)都具有能由光束穿过的孔。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 暗化光瞳 孔径 物镜 | ||
【主权项】：
一种优选用于波长≤193nm、特别优选用于≤100nm的微光刻投影物镜，其包括：物面(10)；像面(20)；第一局部镜体组(300.1)，具有至少一个第一镜体和第二镜体；并且第二局部镜体组(200.1)，具有至少一个第三镜体(1020)和第四镜体(1030)，其中所述投影物镜的过渡图像(22)在所述第一局部镜体组(300.1)的第一镜体(1000)和所述第二局部镜体组(200.1)的第四镜体(1030)之间的光路中形成，其中所述第三镜体(1020)在从所述物面(10)到所述像面(20)的光路中是倒数第二个镜体，并且所述第三镜体是凹面镜，所述第一镜体、所述第二镜体、所述第三镜体和所述第四镜体具有开口，所述第一镜体具有第一镜体直径d2，所述第四镜体(1030)具有第二镜体直径d1，所述过渡图像具有到所述第四镜体的第一表面的第一距离z1，光线射到所述第一表面上，以及具有到所述第一镜体的表面的第二距离z2，光线射到第一镜体的表面上，并且所述过渡图像的位置符合以下关系式： d 1 d 2 ≈ z 1 z 2
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