[发明专利]光掩模安装保护膜的定位方法有效
| 申请号： | 200910247944.8 | 申请日： | 2009-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN102117027A | 公开（公告）日： | 2011-07-06 |
| 发明（设计）人： | 王国荃 | 申请（专利权）人： | 上海凸版光掩模有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 骆希聪 |
| 地址： | 20023*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种光掩模安装保护膜的定位方法，该方法描述了利用保护膜对准标记(Pellicle Alignment Mark，PAM)进行定位的方案。首先建立定位数据库，该定位数据库包含与光掩模关联的PAM数据，其中PAM包括用于定位保护膜的安装方向的方向对准标记和定位保护膜的安装偏移的偏移对准标记，每一标记的数据包含图案以及在光掩模上的布局。在制作光掩模时，根据PAM数据将PAM写在光掩模上，其中PAM位于光掩模的图形质量区外。在为光掩模安装保护膜时，根据PAM确定光掩模的上部，并确保保护膜框的位置偏移没有超出预设的正常范围。PAM的设计提供了易于检查保护膜安装定位的正确性的方法，因而达到可以消除由于安装膜转向错误或过大的偏移而引起的光掩模质量事故。 | ||
| 搜索关键词： | 光掩模 安装 保护膜 定位 方法 | ||
【主权项】：
一种光掩模安装保护膜的定位方法，包括以下步骤：建立定位数据库，该定位数据库包含与光掩模关联的保护膜对准标记数据，其中保护膜对准标记包括用于定位保护膜的安装方向的方向对准标记和定位保护膜的安装偏移的偏移对准标记，每一标记的数据包含图案、以及在光掩模上的布局；在制作光掩模时，根据保护膜对准标记数据将保护膜对准标记写在光掩模上，其中保护膜对准标记位于光掩模的图形质量区外；在为光掩模安装保护膜时，根据保护膜对准标记确定光掩模的上部，并确保保护膜框的位置偏移没有超出预设的正常范围。
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