[发明专利]等离子体加工装置有效
| 申请号： | 200910243830.6 | 申请日： | 2009-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN102110571A | 公开（公告）日： | 2011-06-29 |
| 发明（设计）人： | 张风港 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01J37/04 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 逯长明;王宝筠 |
| 地址： | 100016 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种等离子体加工装置，包括：相对设置的第一极板和第二极板，其中，所述第一极板包括多个第一子极板，各个第一子极板之间具有间隙，所述各个第一子电极分别与等离子体激励电源连接。所述第二极板包括多个第二子极板，各个第二子极板与所述各个第一子极板一一对应，各个第二子极板之间具有间隙。所述第二子极板与其对应的第一子极板的形状相同或相似，且中心对齐。所述等离子体加工装置能够降低子极板的驻波效应。同时，可以避免大面积极板中心到边缘的气流均匀性较差的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 加工 装置 | ||
【主权项】：
一种等离子体加工装置，其特征在于，包括：相对设置的第一极板和第二极板，其中，所述第一极板包括多个第一子极板，各个第一子极板之间具有间隙，所述各个第一子电极分别与等离子体激励电源连接。
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