[发明专利]一种显影腔和显影机台无效
| 申请号： | 200910242147.0 | 申请日： | 2009-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN102096343A | 公开（公告）日： | 2011-06-15 |
| 发明（设计）人： | 宋亚坤;董立武 | 申请（专利权）人： | 北大方正集团有限公司;深圳方正微电子有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 李娟 |
| 地址： | 100871 北京市海淀*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种显影腔和显影机台，涉及半导体芯片的制造技术，一种显影腔，包括：腔体(201)、设置在所述腔体中的冲水管道(202)、显影液管道(203)和载片台(204)，所述显影液管道(203)的直径大于0.0625英寸，且所述显影液管道(203)的显影液流出口在所述载片台(204)上方，并垂直于所述载片台(204)。通过增大显影腔内显影液管的直径，并且将显影液管的显影液流出口的位置改为垂直于载片台，从而使得显影液可以在较短的时间内在硅片上均匀积聚，使得SSI系列机台的显影效果得以优化。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 显影 机台 | ||
【主权项】：
一种显影腔，包括：腔体(201)、设置在所述腔体中的冲水管道(202)、显影液管道(203)和载片台(204)，其特征在于，所述显影液管道(203)的直径大于0.0625英寸，且所述显影液管道(203)的显影液流出口在所述载片台(204)上方，并垂直于所述载片台(204)。
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