[发明专利]用于椭偏测量系统中光路通断自动控制的装置和方法无效
| 申请号： | 200910241801.6 | 申请日： | 2009-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN101718681A | 公开（公告）日： | 2010-06-02 |
| 发明（设计）人： | 杨良 | 申请（专利权）人： | 杨良 |
| 主分类号： | G01N21/21 | 分类号： | G01N21/21;G01B11/06;G01B11/30 |
| 代理公司： | 北京中创阳光知识产权代理有限责任公司 11003 | 代理人： | 尹振启 |
| 地址： | 100098 北京市海淀区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于椭偏测量系统中光路通断自动控制的装置和方法，包括用于产生偏振态探测光波、并将其入射到样品上的起偏臂，及用于对经样品反射后光波进行偏振态再调制和光能量检测的检偏臂，起偏臂包括线偏振光源和线性起偏器，其中线性起偏器固定在起偏器旋转台的旋转轴上，该旋转轴的轴线与起偏臂的光轴相重合，控制旋转轴转动来带动线性起偏器旋转，以改变线性起偏器方位角与线偏振光源产生的线偏振光的方位角的差角θ。本发明提供的装置和方法简单易于实现，而且不需要在现有椭偏测量系统的主光路中添加任何的光学器件或机械装置，仅利用改变线性起偏器的方位角与线偏振光源输出的线偏振光的方位角之差θ来达到对光路进行通断控制。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 测量 系统 中光路通断 自动控制 装置 方法 | ||
【主权项】：
用于椭偏测量系统中光路通断自动控制的装置，其特征在于，该装置包括用于产生具有偏振态的探测光波、并将其入射到样品上的起偏臂，及用于对经样品反射后光波进行偏振态再调制和光能量检测的检偏臂，起偏臂包括线偏振光源和线性起偏器，其中线性起偏器固定在起偏器旋转台的旋转轴上，该旋转轴的轴线与起偏臂的光轴相重合，控制旋转轴转动来带动线性起偏器旋转，以改变线性起偏器方位角与线偏振光源产生的线偏振光的方位角的差角θ。
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