[发明专利]氮化镓基激光器列阵管芯的器件结构及制作方法

摘要

一种氮化镓基激光器列阵管芯的器件结构，包括：一绝缘衬底；在该绝缘衬底上依次生长第一接触层、第一光限制层、第一波导层；在该第一波导层表面的脊形上分别生长有源区；在该有源区的上面生长有第二波导层、第二光限制层、第二接触层、P型欧姆接触电极；该第一波导层上面及侧边，在有源区、第二波导层、第二光限制层、第二接触层和P型欧姆接触电极的侧边生长有绝缘层；两个N型欧姆接触电极，分别制作在第一接触层上面的两侧台面的中间；在第一接触层上面两侧暴露出的台面上生长绝缘层；一P型加厚电极，该P型加厚电极制作在第一波导层、有源区、第二波导层、第二光限制层、第二接触层、P型欧姆接触电极的绝缘层上和P型欧姆接触电极的上面。

主权项

一种氮化镓基激光器列阵管芯的器件结构，包括：一绝缘衬底；一第一接触层，该第一接触层生长在绝缘衬底上；一第一光限制层，该第一光限制层生长在第一接触层上面的中间，使第一接触层上面的两侧形成台面；一第一波导层，该第一波导层生长在第一光限制层上，该第一波导层的表面形成偶多个脊形；在该第一波导层表面的脊形上分别生长有源区；在该有源区的上面生长有第二波导层；在该第二波导层的上面生长有第二光限制层；在该第二光限制层的上面生长有第二接触层；该第一波导层表面的脊形、有源区、第二波导层、第二光限制层和第二接触层合称为脊形发光区；在该第二接触层的上面生长有P型欧姆接触电极；在第一波导层的上面及侧边，在有源区、第二波导层、第二光限制层、第二接触层和P型欧姆接触电极的侧边生长有绝缘层；两个N型欧姆接触电极，分别制作在第一接触层上面的两侧台面的中间；在第一接触层上面两侧暴露出的台面上生长绝缘层；一P型加厚电极，该P型加厚电极制作在第一波导层、有源层、第二波导层、第二光限制层、第二接触层、P型欧姆接触电极的绝缘层上和P型欧姆接触电极的上面。