[发明专利]纳米氮化硅粉的生产方法有效
| 申请号： | 200910216671.0 | 申请日： | 2009-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN101734632A | 公开（公告）日： | 2010-06-16 |
| 发明（设计）人： | 陈海*;安晓宁 | 申请（专利权）人： | 四川德诚金谷硅材料有限公司 |
| 主分类号： | C01B21/068 | 分类号： | C01B21/068;C04B35/584 |
| 代理公司： | 成都立信专利事务所有限公司 51100 | 代理人： | 冯忠亮 |
| 地址： | 610031 四川省成都市*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明为纳米氮化硅粉的生产方法，解决已有方法生产效率低，原料耗资多，产品收率低的问题。包括如下步骤：(1)在混合器中加入固态氮化硅、硅烷和液氨，在混合器中气化，气化后的混合气在中频线圈内的蜂窝状石墨中被加热到1200-1400℃生成氮化硅粉体和氯化铵气体混合气，(2)混合气经冷却器和布袋收尘设备，该设备内温度为100-250℃，从底部收集固态氮化硅粉和氯化铵混合粉，从上部出去的气体夹带残余的氯化铵和四氯化硅进入冷却器循环处理，(3)将收到的氮化硅粉和氯化铵混合粉在氮气保护气氛中，先在450-500℃加热除去氯化铵，保温时间为1-2小时，然后在1350-1380℃温度下，保温4-6小时进行晶化处理，得纳米氮化硅粉。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米 氮化 生产 方法 | ||
【主权项】：
纳米氮化硅粉的生产方法，加热反应釜由下部的混合器，上部的冷却器和中间的中频线圈组成，中频线圈内部安装蜂窝状石墨，中频线圈加热石墨，反应气体流经被加热的蜂窝状石墨，包括如下步骤：(1)在混合器中加入固态氮化硅、硅烷和液氨，加入的重量百分比为：四氯化硅∶液氨＝1∶1.15-1.35，硅烷为四氯化硅和液氨总重量的2-5％，上述三种物质在混合器中气化，气化后的混合气流经中频线圈内的蜂窝状石墨被加热到1200-1400℃生成氮化硅粉体和氯化铵气体混合气，硅烷起催化剂作用，(2)从蜂窝状石墨出来的混合气经冷却器冷却和布袋收尘设备，布袋收尘设备内温度为100-250℃，从底部收集固态氮化硅粉和氯化铵混合粉，从上部出去的气体夹带残余的氯化铵和四氯化硅进入冷却器循环处理，(3)将收到的氮化硅粉和氯化铵混合粉在氮气保护气氛中，先在450-500℃加热除去氯化铵，保温时间为1-2小时，然后在1350-1380℃温度下，保温4-6小时进行晶化处理，得纳米氮化硅粉。
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