[发明专利]N-羟基马来海松酸酰亚胺酯缩醛聚合物及其制备方法无效

专利信息
申请号: 200910210501.1 申请日: 2009-11-05
公开(公告)号: CN101812173A 公开(公告)日: 2010-08-25
发明(设计)人: 王力元;翟晓晓 申请(专利权)人: 北京师范大学
主分类号: C08G63/685 分类号: C08G63/685;C08G63/688;C08G63/664;G03F7/004
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 100875 北*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明涉及N-羟基马来海松酸酰亚胺酯缩醛聚合物及其合成方法。N-羟基马来海松酸酰亚胺和各种二乙烯基醚化合物在有机溶剂存在下加热反应得到新型的酯缩醛聚合物。此类聚合物易发生酸致分解反应,因此,由此类缩醛聚合物和光产酸剂等一起可组成新型正性感光成像材料,可用于超大规模集成电路加工用光致抗蚀剂(又称光刻胶)以及印刷PS版或CTP版材的成像材料。
搜索关键词: 羟基 马来 海松 亚胺 酯缩醛 聚合物 及其 制备 方法
【主权项】:
1.如下通式(I)所示的N-羟基马来海松酸酰亚胺酯缩醛聚合物:其数均分子量为3500-9000;R1为如下基团的一种:其中R3-R6各自独立地为H或CNH2N+1,其中N≤4;以及R7为CNH2N+1或C6H5,其中N≤4;此时,m=1,R0为:-CH2CH2O-,其中氧R1相连;或者R1此时,m=1,R0为:-CH2-或无基团;或者R1为:-CH2-,此时,m=0-4,R0为:-CH2-;或者R1为:-CH2OCH2-,此时,m=1-3,R0为:-CH2-;R2为如下N-羟基马来海松酸酰亚胺基团:
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