[发明专利]通过真空下的负荷固定腔转移物件的方法和装置有效
| 申请号： | 200910208355.9 | 申请日： | 2005-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN101871096A | 公开（公告）日： | 2010-10-27 |
| 发明（设计）人： | B·S·萨贾德;P·辛;S·森古普塔;S·厄艾兹;C·K·克隆纳伯格 | 申请（专利权）人： | 爱德华兹真空股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;H01L21/677 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 茅翊忞 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 揭示了涉及物件的真空辅助处理的方法和装置，由此在准备腔(15)和处理腔(11)之间引导物件，两个腔都保持基本上相等的低压以提高系统效率和产品质量，其中磁耦合的传动机构(43)被用于在处理之前和之后定位物件。 | ||
| 搜索关键词： | 通过 真空 负荷 固定 转移 物件 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种用于在第一腔和第二腔之间移动半导体晶片的支架的装置，第一腔和第二腔由闸阀连接，装置包括：第一线性传送阵列，适于在第一和第二腔之间接合并移动支架；以及第二线性传送阵列，适于在第一和第二腔之间接合并移动支架，其中第一和第二线性传送阵列相对于彼此可移动，用于将第一腔中的支架转换成第二腔中的支架，或与此相反。
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