[发明专利]解耦机构及使用所述解耦机构的曝光台有效
| 申请号： | 200910200946.1 | 申请日： | 2009-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN102109766A | 公开（公告）日： | 2011-06-29 |
| 发明（设计）人： | 吴立伟;郑乐平 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种实现粗动台与微动台的Rz向旋转解耦的解耦机构，所述解耦机构在所述粗动台与所述微动台之间形成浮动连接。根据本发明的解耦机构使得粗动台和微动台之间为浮动轴承连接，从而实现粗微动在Rz向自由度的完全解耦。 | ||
| 搜索关键词： | 机构 使用 述解耦 曝光 | ||
【主权项】：
一种实现粗动台与微动台的Rz向旋转解耦的解耦机构，其特征在于，所述解耦机构在所述粗动台与所述微动台之间形成浮动连接。
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