[发明专利]解耦机构及使用所述解耦机构的曝光台

权利要求书

1.一种实现粗动台与微动台的Rz向旋转解耦的解耦机构，其特征在于，所述解耦机构在所述粗动台与所述微动台之间形成浮动连接。

2.如权利要求1所述的解耦机构，其特征在于，所述解耦机构包括连接在一起的半圆柱形气浮模块、半圆柱形滑块、以及侧向平面气浮模块，其中所述半圆柱形气浮模块与所述微动台的承片台连接，而所述侧向平面气浮模块与所述粗动台的横梁导轨连接。

3.如权利要求1所述的解耦机构，其特征在于，所述解耦机构包括连接在一起的半圆柱形磁浮模块、半圆柱形滑块、以及侧向平面磁浮模块，其中所述半圆柱形磁浮模块与所述微动台的承片台连接，所述侧向平面磁浮模块与所述粗动台的横梁导轨连接。

4.一种曝光台，其特征在于，包括粗动台和微动台，以及设置在所述粗动台与所述微动台之间的、如前述权利要求任一项所述的解耦机构，其中所述粗动台与所述微动台通过所述解耦机构形成浮动连接。

5.如权利要求4所述的曝光台，其特征在于，所述粗动台X向和Y向长行程电机进行驱动，其中所述Y向长行程电机的左侧驱动装置和导向左侧直线电机磁铁、左侧直线电机磁铁支架、左侧直线电机动子、左侧一维垂向气浮导轨以及垂向气浮模块，其中所述垂向气浮模块使得所述粗动台悬浮于所述左侧一维垂向气浮导轨之上，所述左侧直线电机动子与所述粗动台固连，所述左侧直线电机磁铁支架与三自由度反向运动质量体固连，当所述Y向长行程电机驱动时，所述粗动台沿着所述左侧一维垂向气浮导轨Y向运动。

6.如权利要求5所述的曝光台，其特征在于，所述Y向长行程电机的右侧驱动装置和导向装置包括右侧直线电机磁铁、右侧直线电机磁铁支架、右侧直线电机动子、右侧二维气浮导轨滑块、右侧二维气浮导轨、垂向气浮模块以及侧向气浮模块，其中所述垂向气浮模块使得所述粗动台悬浮于所述右侧二维垂向气浮导轨之上，所述侧向气浮模块使得所述粗动台受到所述右侧二维气浮导轨的X向定位约束，由此对所述粗动台具有二维导向作用，所述右侧二维气浮导轨滑块与所述固连，且所述直线电机动子也与所述粗动台固连，所述右侧直线电机磁铁支架与三自由度反向运动质量体固连，当所述Y向长行程电机驱动时，所述粗动台沿着所述右侧二维垂向气浮导轨Y向运动。

7.如权利要求6所述的曝光台，其特征在于，所述粗动台设有Rz限位装置，当所述粗动台在Rz向相对所述旋转角度超出预先设定值时，所述限位传感器对所述Y向长行程直线电机进行控制以避免所述粗动台与所述微动台发生碰撞。

8.如权利要求7所述的曝光台，其特征在于，所述Rz限位装置为Rz角速度传感器。

9.如权利要求4所述的曝光台，其特征在于，所述解耦机构安装有防撞保护装置，以防止所述微动台与所述粗动台之间的碰撞。

10.如权利要求9所述的曝光台，其特征在于，所述防撞保护装置为磁浮防撞保护结构。

11.如权利要求9所述的曝光台，其特征在于，所述防撞保护装置为电磁铁防撞保护结构。

12.如权利要求9所述的曝光台，其特征在于，所述防撞保护装置为弹簧防撞保护结构。