[发明专利]一种太阳能硅片切割液有效
申请号: | 200910200314.5 | 申请日: | 2009-12-11 |
公开(公告)号: | CN102093925A | 公开(公告)日: | 2011-06-15 |
发明(设计)人: | 于昊;宫勇;兰育辉 | 申请(专利权)人: | 安集微电子(上海)有限公司 |
主分类号: | C10M169/04 | 分类号: | C10M169/04;C10M107/32;H01L21/304 |
代理公司: | 上海翰鸿律师事务所 31246 | 代理人: | 李佳铭 |
地址: | 201203 上海市浦东新区张江高*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种太阳能硅片切割液,其含有聚乙二醇,分散剂,表面活性剂,消泡剂和鳌合剂。本发明的太阳能硅片切割液能提高碳化硅的分散性和再分散性,确保了浆料的稳定性和持久性;可实现100%使用回收碳化硅,大大降低了成本;可降低切片的表面损伤,机械应力,热应力及金属离子对硅片的污染,有利于硅片后道清洗,提高了后端太阳能电池的转化效率;能有效地改善硅片的厚度误差,提高切割良率。 | ||
搜索关键词: | 一种 太阳能 硅片 切割 | ||
【主权项】:
一种太阳能硅片切割液,含有聚乙二醇组分,分散剂,表面活性剂,消泡剂和鳌合剂。
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