[发明专利]一种用于太阳能硅片的线切割液有效
| 申请号： | 200910199093.4 | 申请日： | 2009-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN102071090A | 公开（公告）日： | 2011-05-25 |
| 发明（设计）人： | 于昊;宫勇;兰育辉 | 申请（专利权）人： | 安集微电子(上海)有限公司 |
| 主分类号： | C10M169/04 | 分类号： | C10M169/04;C10M107/32;H01L21/304 |
| 代理公司： | 上海翰鸿律师事务所 31246 | 代理人： | 李佳铭 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区张江高*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种用于太阳能硅片的线切割液。该切割液包含a)聚乙二醇、b)水c)分散剂、d)表面活性剂、e)消泡剂、f)金属腐蚀抑制剂。本发明的线切割也能提高碳化硅的稳定性，具有很强的再分散能力，从而提高切割良品率，很大程度上降低切割成本，是一种对环境友好、便于回收的线切割液。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 太阳能 硅片 切割 | ||
【主权项】：
一种用于太阳能硅片的线切割液，其包含：聚乙二醇、分散剂、表面活性剂、消泡剂和金属腐蚀抑制剂。
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