[发明专利]一种有机电致发光显示器的上电极制作方法

摘要

本发明涉及一种有机电致发光显示器的上电极制作方法，将制作完成有机发光层、载流子传输层、载流子注入层结构后的显示器件，放置入真空室内，用等离子束溅射的方法制作透明导电薄膜层作为上电极层。此方法能够保持溅射成膜方法中比较容易控制化学成分的优点，但和通常的磁控溅射制作上电极膜方法相比，又能够大幅度降低等离子体和有机膜的接触，有效减少等离子对有机膜的负面影响，同时能够大幅度减少或避免氧气的使用，大幅度降低真空室内的氧分压，有效减少氧对有机膜的负面影响，从而提高有机电致发光显示器件的亮度、发光效率和寿命。

主权项

一种有机电致发光显示器的上电极制作方法，包括如下步骤：1)将制作完成有机发光层、载流子传输层、载流子注入层结构后的有机电致发光显示器件，放入一个真空室内；2)再将氩气通入一个等离子枪产生等离子束，将等离子束打到一个透明导电材料制作成的陶瓷靶材上，将透明导电物质溅射出来，在显示器上沉积形成一层透明的导电薄膜，作为有机电致发光显示器的上电极；3)等上电极达到厚度后，关闭气体和等离子枪电源。