[发明专利]红外光学滤光片制作过程中的红外光学薄膜厚度控制方法无效
| 申请号： | 200910194865.5 | 申请日： | 2009-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN102004499A | 公开（公告）日： | 2011-04-06 |
| 发明（设计）人： | 周东平;赵培 | 申请（专利权）人： | 上海欧菲尔光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G05D5/03 | 分类号： | G05D5/03;C23C14/54 |
| 代理公司： | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人： | 杨元焱 |
| 地址： | 200434 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种红外光学滤光片制作过程中的红外光学薄膜厚度控制方法，该方法以一个装有石英晶振片的探头作为比较片与红外光学滤光片基片放在一起，探头与晶振膜厚控制仪相连接，晶振膜厚控制仪与蒸发源上方的挡板相连接，在蒸镀过程中，晶振膜厚控制仪测量探头中石英晶振片的振荡频率，当红外光学薄膜达到需要的厚度时，晶振膜厚控制仪发出指令，推动挡板遮挡住蒸发源，从而达到控制膜厚的目的。本发明的方法采用的设备简单、维护方便、成本低；膜层厚度控制精度高，可以控制任意厚度的红外光学薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 红外 光学 滤光 制作 过程 中的 光学薄膜 厚度 控制 方法 | ||
【主权项】：
一种红外光学滤光片制作过程中的红外光学薄膜厚度控制方法，其特征在于：以一个装有石英晶振片的探头作为比较片与红外光学滤光片基片放在一起，探头与晶振膜厚控制仪相连接，晶振膜厚控制仪与蒸发源上方的挡板相连接，在蒸镀过程中，晶振膜厚控制仪测量探头中石英晶振片的振荡频率，当红外光学薄膜达到需要的厚度时，晶振膜厚控制仪发出指令，推动挡板遮挡住蒸发源，从而达到控制膜厚的目的。
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