[发明专利]一种自润滑硬质纳米复合多层涂层及其制备方法有效
| 申请号： | 200910193490.0 | 申请日： | 2009-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN101698362A | 公开（公告）日： | 2010-04-28 |
| 发明（设计）人： | 彭继华 | 申请（专利权）人： | 华南理工大学 |
| 主分类号： | B32B9/04 | 分类号： | B32B9/04;C23C14/30;C23C14/32;C23C14/06;C23C14/18 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 李卫东 |
| 地址： | 510640 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开一种自润滑硬质纳米复合多层涂层及其制备方法。该纳米梯度复合多层涂层是在硬质合金或钢铁基体上，TiN作为结合层，由过渡层TiN膜和金属陶瓷化合物+MoS2纳米复合多层组成结构为TiN/金属陶瓷化合物+MoS2复合多层涂层；金属陶瓷化合物为TiCN或TiAlN。涂层制备方法包括工件预加热、工件表面清洗刻蚀、过渡层制备、(金属陶瓷化合物+MoS2)纳米多层制备等步骤。本发明采用物理气相沉积技术，制备具有TiN/(金属陶瓷化合物+MoS2)纳米复合结构的自润滑涂层，保持TiCN、TiAlN化合物的优异性能，同时涂层兼备了较低的摩擦系数，涂层硬度高于28GPa，涂层的摩擦系数低于0.1。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 润滑 硬质 纳米 复合 多层 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种自润滑硬质纳米复合多层涂层，其特征在于：该纳米梯度复合多层涂层是在硬质合金或钢铁基体上，TiN作为结合层，由过渡层TiN膜和金属陶瓷化合物+MoS2纳米复合多层组成结构为TiN/金属陶瓷化合物+MoS2复合多层涂层；金属陶瓷化合物为TiCN或TiAlN。
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