[发明专利]用于切割硅晶圆的金刚石砂轮及其制备方法

摘要

本发明公开了一种用于切割硅晶圆的金刚石砂轮及其制备方法，所述方法包括以下步骤：(1)铝合金基体预处理：(2)电铸液的配置：按照硫酸镍、硫酸钴、去离子水、金刚石磨料、悬浮剂的重量比为38～43∶15～20∶43～57∶50～180∶4～8配置电铸液；充分搅拌均匀，获得电铸液；(3)将步骤(1)所得铝合金基体进行绝缘处理，放入上述电铸液中，在超声场中进行电铸，电铸液中的金刚石磨料和金属在基体上均匀共析，得到具有复合电铸层的砂轮坯体；(4)将电铸完成的砂轮坯体取出，按照所需的基体和刃口的精度要求，分别在数控磨床和数控车床上进行精确加工。本发明所得金刚石砂轮在满足超薄和超精的技术条件的同时，具有良好的强度和刚性。

主权项

1.一种制备用于切割硅晶圆的金刚石砂轮的方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)铝合金基体预处理：按照需要的尺寸和精度对铝合金基体进行加工，然后进行预处理；所述处理过程与传统电镀工艺中基体的处理方法相同，依次包括：除油、碱蚀、酸蚀、浸锌和预镀步骤；(2)电铸液的配置：按照硫酸镍、硫酸钴、去离子水、金刚石磨料、悬浮剂的重量比为38～43∶15～20∶43～57∶50～180∶4～8配置电铸液；充分搅拌均匀，获得电铸液；(3)将步骤(1)所得铝合金基体进行绝缘处理，放入上述电铸液中，以铝合金基体为阴极，以重量百分数为99.5％以上的镍板为阳极，在超声场中进行电铸，电铸液中的金刚石磨料和金属在基体上均匀共析，得到具有复合电铸层的砂轮坯体；(4)将电铸完成的砂轮坯体取出，按照所需的基体和刃口的精度要求，分别在数控磨床和数控车床上进行精确加工。