[发明专利]静电吸盘组装装置无效
| 申请号： | 200910178184.X | 申请日： | 2009-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN102039521A | 公开（公告）日： | 2011-05-04 |
| 发明（设计）人： | 林博镛;陈嘉明 | 申请（专利权）人： | 韶阳科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B23P19/04 | 分类号： | B23P19/04 |
| 代理公司： | 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 11139 | 代理人： | 孙皓晨 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种静电吸盘组装装置，包括一基板、一静电线路、一绝缘层及一保护膜。基板两侧分别具有一贯孔，静电线路经由曝光、显影、蚀刻制作于基板上方，且静电线路具有多个对应于贯孔的导线连接孔，导线分别经由贯孔连接于导线连接孔，用以将电力导通至静电线路。绝缘层通过粘着剂固设于静电线路上方，通过通电的静电线路与待吸附体产生电位差，使得绝缘层产生静电的吸附力，而将待吸附体予以吸附；保护膜贴附于绝缘层，用以保护绝缘层与静电线路，以延长吸盘寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 静电 吸盘 组装 装置 | ||
【主权项】：
一种静电吸盘组装装置，其特征在于，其包括：一基板，具有一顶面及一底面，所述基板上分别具有多个贯孔，由所述基板的顶面贯通至所述底面；一静电线路，固设于所述基板的顶面，所述静电线路是由多个电极所组成，每个电极分别与所述基板上的贯孔相对应，利用所述基板的贯孔连接至所述静电线路的导线连接孔，用以将电源导通至所述静电线路；一绝缘层，形成于所述静电线路上方，用以在所述静电线路通电之后，使所述绝缘层产生静电吸附力而将一待吸附体予以吸附。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于韶阳科技股份有限公司，未经韶阳科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200910178184.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
