[发明专利]探针卡无效
| 申请号： | 200910171094.8 | 申请日： | 2007-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN101655512A | 公开（公告）日： | 2010-02-24 |
| 发明（设计）人： | 望月纯;保坂久富 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 柳春雷;南 霆 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种可以与电极间隔窄的被检测体相对应、制造简单、并且价格便宜的探针卡。在探针卡(2)的印刷布线基板(12)的下表面一侧设置有探针支承板(11)。在探针支承板(11)上支承有多个探针(10)。探针(10)由上部接触子(20)、下部接触子(21)、以及主体部(22)构成。上部接触子(20)的上端部向探针支承板(11)的上方突出并与印刷布线基板(12)的端子(12a)接触。下部接触子(21)的下端部向探针支承板(11)的下方突出，并且在检测时与晶片的电极接触。在探针支承板(11)上形成有用于卡定探针(10)的通孔(30a)和凹部(30b)，探针(10)可以相对于探针支承板(11)从上方自由地拔出插入。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 | ||
【主权项】：
1.一种探针卡，其特征在于，包括：电路基板，向多个探针发送检测用的电信号；以及探针支承板，位于所述电路基板的下表面一侧，所述多个探针在上下方向上插通该探针支承板并在该状态下由该探针支承板支承；所述探针的上端部向所述探针支承板的上方突出并与所述电路基板接触，所述探针的下端部向所述探针支承板的下方突出，所述探针包括上部、主体部、以及下部，所述上部在上下方向上具有弹性，在所述探针支承板的上表面一侧形成有所述多个探针并列排列在其中的槽，在所述槽的底面上形成有所述各个探针的下部插通的通孔，在所述探针支承板的槽的侧壁的上端部形成有多个凹部，在所述各个探针上形成有嵌入所述凹部而被卡定的卡定部。
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